精密XY平台EX型
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因採用了交叉LM線軌CSR型，是沒有使用中間鞍座構造簡單的XY工作台。藉由採用將兩軸的馬達固定的特殊構造，將動作部的重量降低到極限的輕量化，可控制XY各軸的慣性力，因此有優越的高速應答性。
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