對位平台CMX型
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基座、上位工作台之間的四個角落，安裝了將交叉型LM線軌、交叉滾柱軸承、及精密滾珠螺桿組合起來的模組。因採用了這樣的獨特構造，而實現了超薄型構造的精密對位平台。
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